Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ»Π° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠΊΡΠ΅ΠΉΠ»Ρ, Π³Π΄Π΅ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ»ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π»ΠΈΡΡ 70-80% ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ°, Π° ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ β ΡΡΠΎ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ. Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡΡ, ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΡ , Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠΏΠΎΡΡ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½. ΠΠ»Π°Π΄Π΅Π»ΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΠ΄ΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ ΠΈΠ»ΠΈ, Π½Π°ΠΎΠ±ΠΎΡΠΎΡ, ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅Π΄Π΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π° Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Ρ, ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΡΠΌΠ°Π·ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ»Π° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΌΠ°, Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅Π³ΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ·Π±Π΅Π³Π°ΡΡ ΠΈΡ , ΠΎΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡ Π·Π° ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΆΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠΎΠ². Π ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΡ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Π΅Π³ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠΈΠΌ Π½Π° Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ, ΡΡΠΎΠΈΡ Π»ΠΈ Π³Π½Π°ΡΡΡΡ Π·Π° Β«ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈΒ» ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ°Π·Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½ Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠΌ, Π° Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ. ΠΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ² Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΡΠ΅Π½ ppm (parts per million), ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ . ΠΠ°Π²Π°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌΡΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π³ΡΠ°Π½Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΠΎΠΉ ΠΈ ΠΈΠ·Π»ΠΈΡΠ½Π΅ΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΏΡΠΈΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π°
Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΈΡΡΠ»ΡΡΠΈΠ΄ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π° (MoS2). ΠΡΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΈΡΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ·ΠΈΡΡ Π΄ΡΡΠ³ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄ΡΡΠ³Π°, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ Β«ΡΡΡ ΠΎΠΉ ΡΠΌΠ°Π·ΠΊΠΈΒ» Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΌ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΠ³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π΅ΡΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΡΠ³Π»Π°ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π½Π΅ Π²ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅Π΄ΡΡ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎ. Π ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ»ΠΎΠΎΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡΠΌΠΈ. Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ MoS2, ΡΡΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡΡΡΡ Π² Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ»Π΅, Π½Π΅ Π²ΡΠΏΠ°Π΄Π°Ρ Π² ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈ Π½Π΅ Π·Π°Π±ΠΈΠ²Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Ρ. ΠΠ½ΠΈ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ°ΡΡΡΡ, Π²ΡΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠ΄Π°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°.
Π Π°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ Π²ΠΏΠ°Π΄ΠΈΠ½Ρ, ΡΠΎ Π²ΡΠΎΡΡΠ΅ Π²ΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ. ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ, ΠΈ Π½Π°ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π½Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Ρ.